Под строительство 3-нм полупроводникового завода TSMC выбран один из южных технологических парков страны – Nanke Park. Начало строительства запланировано на вторую половину 2020 года, через год будет установлено промышленное оборудование, а уже в 2022 году стартует серийный выпуск 3-нм продукции.
Тайваньское агентство EIA разрешает строительство завода только при условии, что на нем будет использоваться 20 % электроэнергии из возобновляемых источников и повторно использоваться вода в объеме не менее 50 % от суточной необходимости. Общая суточная потребность завода оценивается в 75 тыс. тонн, тогда как суточная потребность региона, где будет строиться завод, составит 880 тыс. тонн.
Один сканер диапазона EUV потребляет в сутки до 30 тыс. кВт∙ч, а таких будет не один или два, а от 10 до 20 установок. Общей оценки по потреблению электроэнергии 3-нм завода TSMC нет, но все мощности TSMC, например, по итогам 2016 года потребили 8,85 млрд. кВт•ч.
